ИССЛЕДОВАНИЕ ПРОЦЕССА ПОЛУЧЕНИЯ АМОРФНОГО КРЕМНИЯ

Journal" Herald of KRSU", 2012 year, Tom 12, no 10, p. 90- 93. UDC 538.971 (575.2) (04)

Information about authors:

Макаров Владимир Петрович – д-р физ.-мат. наук, профессор кафедры физики и микроэлектроники КРСУ, тел.: (996-777) 635795, е-mail: makarov44@rambler.ru
Календеров Азамат Жаныбаевич – аспирант кафедры физики и микроэлектроники КРСУ, тел.: (996-772) 252667, е-mail: azakalenderov@gmail.com

ИССЛЕДОВАНИЕ ПРОЦЕССА ПОЛУЧЕНИЯ АМОРФНОГО КРЕМНИЯ

Макаров В.П., Календеров А.Ж.

Abstract in Russian:

Определены параметры получения пленок аморфного кремния на различные материалы, исследованы их структурные параметры.

Keywords in Russian:

аморфный кремний; напыление; подслой

ИССЛЕДОВАНИЕ ПРОЦЕССА ПОЛУЧЕНИЯ АМОРФНОГО КРЕМНИЯ

Макаров В.П., Календеров А.Ж.

Astract in Kyrgyz :

Keywords in Kyrgyz:

аморфный кремний; напыление; подслой

ИССЛЕДОВАНИЕ ПРОЦЕССА ПОЛУЧЕНИЯ АМОРФНОГО КРЕМНИЯ

Макаров В.П., Календеров А.Ж.

Abstract in English:

Keywords in English:

аморфный кремний; напыление; подслой

Copy the output according to GOST

Download

Макаров В.П. ИССЛЕДОВАНИЕ ПРОЦЕССА ПОЛУЧЕНИЯ АМОРФНОГО КРЕМНИЯ / В.П. Макаров, А.Ж. Календеров // Herald of KRSU. 2012. T. 12. No 10. S. 90- 93.