ИССЛЕДОВАНИЕ ПРОЦЕССА ПОЛУЧЕНИЯ АМОРФНОГО КРЕМНИЯ

Журнал «Вестник КРСУ», 2012 год, Том 12, № 10, Стр. 90-93. УДК 538.971 (575.2) (04)

Сведения об авторах:

Макаров Владимир Петрович – д-р физ.-мат. наук, профессор кафедры физики и микроэлектроники КРСУ, тел.: (996-777) 635795, е-mail: makarov44@rambler.ru
Календеров Азамат Жаныбаевич – аспирант кафедры физики и микроэлектроники КРСУ, тел.: (996-772) 252667, е-mail: azakalenderov@gmail.com

ИССЛЕДОВАНИЕ ПРОЦЕССА ПОЛУЧЕНИЯ АМОРФНОГО КРЕМНИЯ

Макаров В.П., Календеров А.Ж.

Аннотация на русском языке:

Определены параметры получения пленок аморфного кремния на различные материалы, исследованы их структурные параметры.

Ключевые слова на русском языке:

аморфный кремний; напыление; подслой

ИССЛЕДОВАНИЕ ПРОЦЕССА ПОЛУЧЕНИЯ АМОРФНОГО КРЕМНИЯ

Макаров В.П., Календеров А.Ж.

Аннотация на кыргызском языке:

Ключевые слова на кыргызском языке:

аморфный кремний; напыление; подслой

ИССЛЕДОВАНИЕ ПРОЦЕССА ПОЛУЧЕНИЯ АМОРФНОГО КРЕМНИЯ

Макаров В.П., Календеров А.Ж.

Аннотация на английском языке:

Ключевые слова на английском языке:

аморфный кремний; напыление; подслой

Скопировать выходные данные по ГОСТУ

Скачать

Макаров В.П. ИССЛЕДОВАНИЕ ПРОЦЕССА ПОЛУЧЕНИЯ АМОРФНОГО КРЕМНИЯ / В.П. Макаров, А.Ж. Календеров // Вестник КРСУ. 2012. Т. 12. № 10. С. 90-93.