СТРУКТУРНЫЕ И МОРФОЛОГИЧЕСКИЕ ИЗМЕНЕНИЯ ПОВЕРХНОСТИ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ Α-SI ПРИ ТЕРМИЧЕСКОМ ВОЗДЕЙСТВИИ

Журнал «Вестник КРСУ», 2015 год, Том 15, № 9, Стр. 73-76. УДК 539.213.27

Сведения об авторах:

Паров Станислав Владимирович – зав. лабораторией физики твердого тела кафедры физики и микроэлектроники КРСУ, тел.: (996-559) 469669, e-mail: Oneonxsort@mail.ru
Маленова Айшоола Маленовна – магистрант кафедры физики и микроэлектроники КРСУ, тел.: (996-700) 236644, e-mail: aika.malen@mail.ru
Макаров Владимир Петрович – д-р физ.-мат. наук, профессор кафедры физики и микроэлектроники КРСУ, тел.: (996-777) 635795, e-mail: makarov44@rambler.ru

СТРУКТУРНЫЕ И МОРФОЛОГИЧЕСКИЕ ИЗМЕНЕНИЯ ПОВЕРХНОСТИ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ Α-SI ПРИ ТЕРМИЧЕСКОМ ВОЗДЕЙСТВИИ

Паров С.В., Маленова А.М., Макаров В.П.

Аннотация на русском языке:

Приведены результаты исследования влияния термического воздействия на поверхностную структуру пленок аморфного кремния.

Ключевые слова на русском языке:

аморфный кремний; напыление; нагрев; а

СТРУКТУРНЫЕ И МОРФОЛОГИЧЕСКИЕ ИЗМЕНЕНИЯ ПОВЕРХНОСТИ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ Α-SI ПРИ ТЕРМИЧЕСКОМ ВОЗДЕЙСТВИИ

Паров С.В., Маленова А.М., Макаров В.П.

Аннотация на кыргызском языке:

Ключевые слова на кыргызском языке:

аморфный кремний; напыление; нагрев; а

STRUCTURAL AND MORPHOLOGICAL CHANGES IN THE SURFACE OF THIN-FILM ELEMENTS OF Α-SI BY THERMAL EXPOSURE

Parov S.V., Malenova A.M., Makarov V.P.

Аннотация на английском языке:

It presents the results of investigation of thermal effects on the surface structure of amorphous silicon films.

Ключевые слова на английском языке:

amorphous silicon; spraying; heating; analysis

Скопировать выходные данные по ГОСТУ

Скачать

Паров С.В. СТРУКТУРНЫЕ И МОРФОЛОГИЧЕСКИЕ ИЗМЕНЕНИЯ ПОВЕРХНОСТИ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ Α-SI ПРИ ТЕРМИЧЕСКОМ ВОЗДЕЙСТВИИ / С.В. Паров, А.М. Маленова, В.П. Макаров // Вестник КРСУ. 2015. Т. 15. № 9. С. 73-76.