СТРУКТУРНЫЕ И МОРФОЛОГИЧЕСКИЕ ИЗМЕНЕНИЯ ПОВЕРХНОСТИ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ Α-SI ПРИ ТЕРМИЧЕСКОМ ВОЗДЕЙСТВИИ

Журнал «КРСУ жарчысы», 2015 год, Том 15, № 9, Стр. 73-76. УДК 539.213.27

Автор тууралуу маалымат:

Паров Станислав Владимирович – зав. лабораторией физики твердого тела кафедры физики и микроэлектроники КРСУ, тел.: (996-559) 469669, e-mail: Oneonxsort@mail.ru
Маленова Айшоола Маленовна – магистрант кафедры физики и микроэлектроники КРСУ, тел.: (996-700) 236644, e-mail: aika.malen@mail.ru
Макаров Владимир Петрович – д-р физ.-мат. наук, профессор кафедры физики и микроэлектроники КРСУ, тел.: (996-777) 635795, e-mail: makarov44@rambler.ru

СТРУКТУРНЫЕ И МОРФОЛОГИЧЕСКИЕ ИЗМЕНЕНИЯ ПОВЕРХНОСТИ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ Α-SI ПРИ ТЕРМИЧЕСКОМ ВОЗДЕЙСТВИИ

Паров С.В., Маленова А.М., Макаров В.П.

Аннотация орус тилинде:

Приведены результаты исследования влияния термического воздействия на поверхностную структуру пленок аморфного кремния.

Түйүндүү сөздөр орус тилинде:

аморфный кремний; напыление; нагрев; а

СТРУКТУРНЫЕ И МОРФОЛОГИЧЕСКИЕ ИЗМЕНЕНИЯ ПОВЕРХНОСТИ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ Α-SI ПРИ ТЕРМИЧЕСКОМ ВОЗДЕЙСТВИИ

Паров С.В., Маленова А.М., Макаров В.П.

Аннотация кыргыз тилинде:

Түйүндүү сөздөр кыргыз тилинде:

аморфный кремний; напыление; нагрев; а

STRUCTURAL AND MORPHOLOGICAL CHANGES IN THE SURFACE OF THIN-FILM ELEMENTS OF Α-SI BY THERMAL EXPOSURE

Parov S.V., Malenova A.M., Makarov V.P.

Аннотация англис тилинде:

It presents the results of investigation of thermal effects on the surface structure of amorphous silicon films.

Түйүндүү сөздөр англис тилинде:

amorphous silicon; spraying; heating; analysis

ГОСТ боюнча чыгуу маалыматтарын көчүрүү

Жүктөө

Паров С.В. СТРУКТУРНЫЕ И МОРФОЛОГИЧЕСКИЕ ИЗМЕНЕНИЯ ПОВЕРХНОСТИ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ Α-SI ПРИ ТЕРМИЧЕСКОМ ВОЗДЕЙСТВИИ / С.В. Паров, А.М. Маленова, В.П. Макаров // КРСУ жарчысы. 2015. Т. 15. № 9. С. 73-76.